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電子級超純水設備

 

 

(水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
典型超純水工藝:
●預處理-一級反滲透-RO水箱--=-增壓泵----混床系統-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

 


應用場合
· 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
· 超純材料和超純化學試劑;
· 實驗室和中試車間
· 汽車、家電表面拋光處理;
· 其他高科技精微產品。

 

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